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產品簡介
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卓立漢光偏振二次諧波掃描成像系統實測：p光激發SHG強度遠超s光
X軸掃描臺 — S100/200/300.X & S500.X
產品特色
· 壓電陶瓷堆疊驅動
· 無摩擦柔順結構導向
· 亞納米級位置分辨率
· 長行程運動范圍
· 內置電容傳感器，閉環控制
· 直接位置檢測
產品圖片&尺寸
產品參數
| 產品參數 | S100.X | S200.X | S300.X | S500.X |
1. 可選版本 | .NM, 絕對無磁版本: .HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本； | .NM, 絕對無磁版本: .HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本； | .NM, 絕對無磁版本: .HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本； | .NM, 絕對無磁版本: .HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本； |
2. 外形尺寸 | 55 × 55 × 17 mm | 55 × 55 × 17 mm | 55 × 55 × 17 mm | 70 × 70 × 17 mm |
3. 運動方向 & 行程 (閉環) | 100 μm | 200 μm | 300 μm | 500 μm |
4. 主體材料 | 標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 220 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 200 g | 標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 220 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 200 g | 標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 220 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 200 g | 標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 250 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 230 g |
5. 線性誤差度 | 0.02% | 0.02% | 0.02% | 0.02% |
6. 重復定位精度 | 5 nm | 5 nm | 5 nm | 6 nm |
7. 運動分辨率 (閉環) | 0.5 nm | 0.6 nm | 0.9 nm | 1.5 nm |
8. 運動分辨率 (開環) | 0.2 nm | 0.3 nm | 0.5 nm | 0.7 nm |
9. 剛性 | 1 N/μm | 0.65 N/μm | 0.25 N/μm | 0.16 N/μm |
10. 共振頻率，0 負載 (± 20%) | 750 Hz | 590 Hz | 310 Hz | 210 Hz |
11. 共振頻率，0.5 kg 負載 (± 20%) | 200 Hz | 162 Hz | 100 Hz | 80 Hz |
12. 最大負載 | 500 g | 500 g | 500 g | 500 g |
13. 位置傳感器類型 | 電容式位置傳感 | 電容式位置傳感 | 電容式位置傳感 | 電容式位置傳感 |
14. 線纜 & 接頭 | 默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA | 默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA | 默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA | 默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA |
15. 控制器規格 | MC-Archimedes.N 系列 | MC-Archimedes.N 系列 | MC-Archimedes.N 系列 | MC-Archimedes.N 系列 |
Z軸掃描臺 — S100/200/300.Z
產品特色
· 壓電陶瓷堆疊驅動
· 直接位置檢測
· 無摩擦柔順結構導向
· 亞納米級位置分辨率
· 內置電容傳感器，閉環控制
產品圖片&尺寸
產品參數
| 產品參數 | S100.Z | S200.Z | S300.Z |
1. 可選版本 | .NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 | .NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 | .NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 |
2. 外形尺寸 | 55 × 55 × 23 mm | 55 × 55 × 23 mm | 55 × 55 × 23 mm |
3. 運動方向 & 行程 (閉環) | 100 μm | 200 μm | 300 μm |
4. 主體材料 | 標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 260 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 240 g | 標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 260 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 240 g | 標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 260 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 240 g |
5. 線性誤差度 | 0.02% | 0.02% | 0.02% |
6. 重復定位精度 | 5 nm | 5 nm | 5 nm |
7. 運動分辨率 (閉環) | 0.5 nm | 0.6 nm | 0.9 nm |
8. 運動分辨率 (開環) | 0.2 nm | 0.3 nm | 0.5 nm |
9. 剛性 | 1 N/μm | 0.7 N/μm | 0.4 N/μm |
10. 共振頻率，0 負載 (± 20%) | 550 Hz | 540 Hz | 430 Hz |
11. 共振頻率，0.5 kg 負載 (± 20%) | 230 Hz | 210 Hz | 150 Hz |
12. 最大負載 | 500 g | 500 g | 500 g |
13. 位置傳感器類型 | 電容式位置傳感 | 電容式位置傳感 | 電容式位置傳感 |
14. 線纜 & 接頭 | 默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA | 默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA | 默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA |
15. 控制器規格 | MC-Archimedes.N 系列 | MC-Archimedes.N 系列 | MC-Archimedes.N 系列 |
XY掃描臺 — S100/200/300.XY
產品特色
· 壓電陶瓷堆疊驅動
· 直接位置檢測
· 無摩擦柔順結構導向
· 亞納米級位置分辨率
· 內置電容傳感器，閉環控制
· 緊湊的串聯多軸結構
產品圖片&尺寸
產品參數
| 產品參數 | S100.XY | S200.XY | S300.XY |
1. 可選版本 | .NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 | .NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 | .NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 |
2. 外形尺寸 | 55 × 55 × 28 mm | 55 × 55 × 28 mm | 55 × 55 × 28 mm |
3. 運動方向 & 行程 (閉環) | 100 μm | 200 μm | 300 μm |
4. 主體材料 | 標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 450 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 410 g | 標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 450 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 410 g | 標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 450 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 410 g |
5. 線性誤差度 | 0.02% | 0.02% | 0.02% |
6. 重復定位精度 | 5 nm | 5 nm | 5 nm |
7. 運動分辨率 (閉環) | 0.5 nm | 0.6 nm | 0.9 nm |
8. 運動分辨率 (開環) | 0.2 nm | 0.3 nm | 0.5 nm |
9. 剛性 | 0.7 N/μm | 0.5 N/μm | 0.2 N/μm |
10. 共振頻率，0 負載 (± 20%) | X: 570 Hz；Y: 530 Hz | X: 480 Hz；Y: 400 Hz | X: 300 Hz；Y: 260 Hz |
11. 共振頻率，0.5 kg 負載 (± 20%) | X: 130 Hz；Y: 120 Hz | X: 130 Hz；Y: 115 Hz | X: 85 Hz；Y: 80 Hz |
12. 最大負載 | 500 g | 500 g | 500 g |
13. 位置傳感器類型 | 電容式位置傳感 | 電容式位置傳感 | 電容式位置傳感 |
14. 線纜 & 接頭 | 默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA | 默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA | 默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA |
16. 控制器規格 | MC-Archimedes.N 系列 | MC-Archimedes.N 系列 | MC-Archimedes.N 系列 |
XY掃描臺 — S500.XY
產品特色
· 壓電陶瓷堆疊驅動
· 直接位置檢測
· 無摩擦柔順結構導向
· 亞納米級位置分辨率
· 內置電容傳感器，閉環控制
· 緊湊的串聯多軸結構
產品圖片&尺寸
產品參數
| 產品參數 | S500.XY |
1. 可選版本 | .NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 |
2. 外形尺寸 | 70 × 70 × 28 mm |
3. 運動方向 & 行程 (閉環) | 500 μm |
4. 主體材料 | 標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 500 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 460 g |
5. 線性誤差度 | 0.02% |
6. 重復定位精度 | 6 nm |
7. 運動分辨率 (閉環) | 1.5 nm |
8. 運動分辨率 (開環) | 0.7 nm |
9. 剛性 | 0.13 N/μm |
10. 共振頻率，0 負載 (± 20%) | X: 190 Hz；Y: 150 Hz |
11. 共振頻率，0.5 kg 負載 (± 20%) | X: 68 Hz；Y: 66 Hz |
12. 最大負載 | 500 g |
13. 位置傳感器類型 | 電容式位置傳感 |
14. 線纜 & 接頭 | 默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA |
16. 控制器規格 | MC-Archimedes.N 系列 |
XYZ掃描臺 — S100/200/300.XYZ
產品特色
· 壓電陶瓷堆疊驅動
· 直接位置檢測
· 無摩擦柔順結構導向
· 亞納米級位置分辨率
· 內置電容傳感器，閉環控制
· 緊湊的串聯多軸結構
產品圖片&尺寸
產品參數
| 產品參數 | S100.XYZ | S200.XYZ | S300.XYZ |
1. 可選版本 | .NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 | .NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 | .NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 |
2. 外形尺寸 | 55 × 55 × 42 mm | 55 × 55 × 42 mm | 55 × 55 × 42 mm |
3. 運動方向 & 行程 (閉環) | 100 μm | 200 μm | 300 μm |
4. 主體材料 | 標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 650 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 600 g | 標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 650 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 600 g | 標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 650 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 600 g |
5. 線性誤差度 | 0.02% | 0.02% | 0.02% |
6. 重復定位精度 | 5 nm | 5 nm | 5 nm |
7. 運動分辨率 (閉環) | 0.5 nm | 0.6 nm | 0.9 nm |
8. 運動分辨率 (開環) | 0.2 nm | 0.3 nm | 0.5 nm |
9. 剛性 | 0.6 N/μm | 0.5 N/μm | 0.2 N/μm |
10. 共振頻率，0 負載 (± 20%) | X: 490 Hz；Y: 480 Hz；Z: 350 Hz | X: 410 Hz；Y: 380 Hz；Z: 320 Hz | X: 310 Hz；Y: 250 Hz；Z: 230 Hz |
11. 共振頻率，0.5 kg 負載 (± 20%) | X: 110 Hz；Y: 115 Hz；Z: 170 Hz | X: 100 Hz；Y: 105 Hz；Z: 155 Hz | X: 75 Hz；Y: 80 Hz；Z: 110 Hz |
12. 最大負載 | 500 g | 500 g | 500 g |
13. 位置傳感器類型 | 電容式位置傳感 | 電容式位置傳感 | 電容式位置傳感 |
14. 線纜 & 接頭 | 默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA | 默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA | 默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA |
16. 控制器規格 | MC-Archimedes.N 系列 | MC-Archimedes.N 系列 | MC-Archimedes.N 系列 |
XYZ掃描臺 — S100.XYZ.P
產品特色
· 壓電陶瓷堆疊驅動
· 直接位置檢測
· 無摩擦柔順結構導向
· 亞納米級位置分辨率
· 內置電容傳感器，閉環控制
· 超小型并聯多軸結構
產品圖片&尺寸
產品參數
| 產品參數 | 對應參數值 |
1. 可選版本 | .NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 |
2. 外形尺寸 | 40 × 40 × 40 mm |
3. 運動方向 & 行程 (閉環) | 100 μm |
4. 主體材料 | 標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 200 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 190 g |
5. 線性誤差度 | 0.02% |
6. 重復定位精度 | 6 nm |
7. 運動分辨率 (閉環) | 1 nm |
8. 運動分辨率 (開環) | 0.5 nm |
9. 剛性 | 0.6 N/μm |
10. 共振頻率，0 負載 (± 20%) | XYZ: 750 Hz |
11. 共振頻率，0.2 kg 負載 (± 20%) | XYZ: 230 Hz |
12. 最大負載 | 200 g |
13. 位置傳感器類型 | 電容式位置傳感 |
14. 線纜 & 接頭 | 默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA |
15. 控制器規格 | MC-Archimedes.N 系列 |
高速單軸掃描運動 — SD15/30.X.C
產品特色
· 壓電陶瓷堆疊驅動
· 直接位置檢測
· 無摩擦柔順結構導向
· 亞納米級位置分辨率
· 內置電容傳感器，閉環控制
· 高動態毫秒級響應速度
產品圖片&尺寸
產品參數
| 產品參數 | SD15.X | SD30.X |
1. 可選版本 | .NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 | .NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 |
2. 外形尺寸 | 62 × 40 × 13.5 mm | 80 × 40 × 13.5 mm |
3. 運動方向 & 行程 (閉環) | 15 μm | 30 μm |
4. 主體材料 | 標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 180 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 160 g | 標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 250 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 220 g |
5. 線性誤差度 | 0.03% | 0.03% |
6. 重復定位精度 | 2 nm | 4 nm |
7. 運動分辨率 (閉環) | 0.2 nm | 0.5 nm |
8. 運動分辨率 (開環) | 0.1 nm | 0.2 nm |
9. 剛性 | 28 N/μm | 18 N/μm |
10. 共振頻率，0 負載 (± 20%) | 3.3 KHz | 2.2 KHz |
11. 共振頻率，0.3 kg 負載 (± 20%) | 1 KHz | 0.625 KHz |
12. 最大負載 | 300 g | 300 g |
13. 位置傳感器類型 | 電容式位置傳感 | 電容式位置傳感 |
14. 線纜 & 接頭 | 默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA | 默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA |
15. 控制器規格 | MC-Archimedes.N 系列 | MC-Archimedes.N 系列 |
三軸掃描運動 — SH30.XYZ.C
產品特色
· 壓電陶瓷堆疊驅動
· 高負載能力
· 無摩擦柔順結構導向
· 亞納米級位置分辨率
· 內置電容傳感器，閉環控制
· 直接位置檢測
產品圖片&尺寸
產品參數
| 產品參數 | 對應參數值 |
1. 可選版本 | .NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本 |
3. 外形尺寸 | 160 × 160 × 34.5 mm |
4. 運動方向 & 行程 (閉環) | 30 × 30 × 15 μm |
5. 主體材料 | 標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 4.5 kg；.NM 鋁合金，鈦合金: 4.2 kg |
6. 線性誤差度 | 0.03% |
7. 重復定位精度 | 4 nm |
8. 運動分辨率 (閉環) | 0.3 nm |
9. 運動分辨率 (開環) | 0.2 nm |
10. 剛性 | 25 N/μm |
11. 共振頻率，0 負載 (± 20%) | X: 760 Hz；Y: 760 Hz；Z: 830 Hz |
12. 共振頻率，10 kg 負載 (± 20%) | X: 220 Hz；Y: 220 Hz；Z: 340 Hz |
13. 最大負載 | 10 kg |
14. 位置傳感器類型 | 電容式位置傳感 |
15. 線纜 & 接頭 | 默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA |
16. 控制器規格 | MC-Archimedes.N 系列 |
13810146393
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