S系列集成單軸--三軸的緊湊型壓電掃描臺

產品簡介

S系列集成單軸--三軸的緊湊型壓電掃描臺：·壓電陶瓷堆疊驅動 ·無摩擦柔順結構導向 ·亞納米級位置分辨率·內置電容傳感器，閉環控制 ·長行程運動范圍 ·直接位置檢測

Name: S系列集成單軸--三軸的緊湊型壓電掃描臺S100/200/300.X & S500.X
Brand: ZOLIX/卓立漢光
Price: 50000 CNY
Availability: InStock

產品型號：S100/200/300.X & S500.X

更新時間：2026-04-03

廠商性質：生產廠家

訪問量：132

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產品分類Product Categories

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X軸掃描臺 — S100/200/300.X & S500.X

產品特色

· 壓電陶瓷堆疊驅動

· 無摩擦柔順結構導向

· 亞納米級位置分辨率

· 長行程運動范圍

· 內置電容傳感器，閉環控制

· 直接位置檢測

產品圖片&尺寸

產品參數

產品參數	S100.X	S200.X	S300.X	S500.X
1. 可選版本	.NM, 絕對無磁版本: .HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本；	.NM, 絕對無磁版本: .HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本；	.NM, 絕對無磁版本: .HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本；	.NM, 絕對無磁版本: .HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本；
2. 外形尺寸	55 × 55 × 17 mm	55 × 55 × 17 mm	55 × 55 × 17 mm	70 × 70 × 17 mm
3. 運動方向 & 行程 (閉環)	100 μm	200 μm	300 μm	500 μm
4. 主體材料	標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 220 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 200 g	標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 220 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 200 g	標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 220 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 200 g	標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 250 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 230 g
5. 線性誤差度	0.02%	0.02%	0.02%	0.02%
6. 重復定位精度	5 nm	5 nm	5 nm	6 nm
7. 運動分辨率 (閉環)	0.5 nm	0.6 nm	0.9 nm	1.5 nm
8. 運動分辨率 (開環)	0.2 nm	0.3 nm	0.5 nm	0.7 nm
9. 剛性	1 N/μm	0.65 N/μm	0.25 N/μm	0.16 N/μm
10. 共振頻率，0 負載 (± 20%)	750 Hz	590 Hz	310 Hz	210 Hz
11. 共振頻率，0.5 kg 負載 (± 20%)	200 Hz	162 Hz	100 Hz	80 Hz
12. 最大負載	500 g	500 g	500 g	500 g
13. 位置傳感器類型	電容式位置傳感	電容式位置傳感	電容式位置傳感	電容式位置傳感
14. 線纜 & 接頭	默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA	默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA	默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA	默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA
15. 控制器規格	MC-Archimedes.N 系列	MC-Archimedes.N 系列	MC-Archimedes.N 系列	MC-Archimedes.N 系列

Z軸掃描臺 — S100/200/300.Z

產品特色

· 壓電陶瓷堆疊驅動

· 直接位置檢測

· 無摩擦柔順結構導向

· 亞納米級位置分辨率

· 內置電容傳感器，閉環控制

產品圖片&尺寸

產品參數

產品參數	S100.Z	S200.Z	S300.Z
1. 可選版本	.NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本	.NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本	.NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本
2. 外形尺寸	55 × 55 × 23 mm	55 × 55 × 23 mm	55 × 55 × 23 mm
3. 運動方向 & 行程 (閉環)	100 μm	200 μm	300 μm
4. 主體材料	標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 260 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 240 g	標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 260 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 240 g	標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 260 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 240 g
5. 線性誤差度	0.02%	0.02%	0.02%
6. 重復定位精度	5 nm	5 nm	5 nm
7. 運動分辨率 (閉環)	0.5 nm	0.6 nm	0.9 nm
8. 運動分辨率 (開環)	0.2 nm	0.3 nm	0.5 nm
9. 剛性	1 N/μm	0.7 N/μm	0.4 N/μm
10. 共振頻率，0 負載 (± 20%)	550 Hz	540 Hz	430 Hz
11. 共振頻率，0.5 kg 負載 (± 20%)	230 Hz	210 Hz	150 Hz
12. 最大負載	500 g	500 g	500 g
13. 位置傳感器類型	電容式位置傳感	電容式位置傳感	電容式位置傳感
14. 線纜 & 接頭	默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA	默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA	默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA
15. 控制器規格	MC-Archimedes.N 系列	MC-Archimedes.N 系列	MC-Archimedes.N 系列

XY掃描臺 — S100/200/300.XY

產品特色

· 壓電陶瓷堆疊驅動

· 直接位置檢測

· 無摩擦柔順結構導向

· 亞納米級位置分辨率

· 內置電容傳感器，閉環控制

· 緊湊的串聯多軸結構

產品圖片&尺寸

產品參數

產品參數	S100.XY	S200.XY	S300.XY
1. 可選版本	.NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本	.NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本	.NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本
2. 外形尺寸	55 × 55 × 28 mm	55 × 55 × 28 mm	55 × 55 × 28 mm
3. 運動方向 & 行程 (閉環)	100 μm	200 μm	300 μm
4. 主體材料	標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 450 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 410 g	標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 450 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 410 g	標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 450 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 410 g
5. 線性誤差度	0.02%	0.02%	0.02%
6. 重復定位精度	5 nm	5 nm	5 nm
7. 運動分辨率 (閉環)	0.5 nm	0.6 nm	0.9 nm
8. 運動分辨率 (開環)	0.2 nm	0.3 nm	0.5 nm
9. 剛性	0.7 N/μm	0.5 N/μm	0.2 N/μm
10. 共振頻率，0 負載 (± 20%)	X: 570 Hz；Y: 530 Hz	X: 480 Hz；Y: 400 Hz	X: 300 Hz；Y: 260 Hz
11. 共振頻率，0.5 kg 負載 (± 20%)	X: 130 Hz；Y: 120 Hz	X: 130 Hz；Y: 115 Hz	X: 85 Hz；Y: 80 Hz
12. 最大負載	500 g	500 g	500 g
13. 位置傳感器類型	電容式位置傳感	電容式位置傳感	電容式位置傳感
14. 線纜 & 接頭	默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA	默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA	默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA
16. 控制器規格	MC-Archimedes.N 系列	MC-Archimedes.N 系列	MC-Archimedes.N 系列

XY掃描臺 — S500.XY

產品特色

· 壓電陶瓷堆疊驅動

· 直接位置檢測

· 無摩擦柔順結構導向

· 亞納米級位置分辨率

· 內置電容傳感器，閉環控制

· 緊湊的串聯多軸結構

產品圖片&尺寸

產品參數

產品參數	S500.XY
1. 可選版本	.NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本
2. 外形尺寸	70 × 70 × 28 mm
3. 運動方向 & 行程 (閉環)	500 μm
4. 主體材料	標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 500 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 460 g
5. 線性誤差度	0.02%
6. 重復定位精度	6 nm
7. 運動分辨率 (閉環)	1.5 nm
8. 運動分辨率 (開環)	0.7 nm
9. 剛性	0.13 N/μm
10. 共振頻率，0 負載 (± 20%)	X: 190 Hz；Y: 150 Hz
11. 共振頻率，0.5 kg 負載 (± 20%)	X: 68 Hz；Y: 66 Hz
12. 最大負載	500 g
13. 位置傳感器類型	電容式位置傳感
14. 線纜 & 接頭	默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA
16. 控制器規格	MC-Archimedes.N 系列

XYZ掃描臺 — S100/200/300.XYZ
產品特色

· 壓電陶瓷堆疊驅動

· 直接位置檢測

· 無摩擦柔順結構導向

· 亞納米級位置分辨率

· 內置電容傳感器，閉環控制

· 緊湊的串聯多軸結構

產品圖片&尺寸

產品參數

產品參數	S100.XYZ	S200.XYZ	S300.XYZ
1. 可選版本	.NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本	.NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本	.NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本
2. 外形尺寸	55 × 55 × 42 mm	55 × 55 × 42 mm	55 × 55 × 42 mm
3. 運動方向 & 行程 (閉環)	100 μm	200 μm	300 μm
4. 主體材料	標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 650 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 600 g	標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 650 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 600 g	標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 650 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 600 g
5. 線性誤差度	0.02%	0.02%	0.02%
6. 重復定位精度	5 nm	5 nm	5 nm
7. 運動分辨率 (閉環)	0.5 nm	0.6 nm	0.9 nm
8. 運動分辨率 (開環)	0.2 nm	0.3 nm	0.5 nm
9. 剛性	0.6 N/μm	0.5 N/μm	0.2 N/μm
10. 共振頻率，0 負載 (± 20%)	X: 490 Hz；Y: 480 Hz；Z: 350 Hz	X: 410 Hz；Y: 380 Hz；Z: 320 Hz	X: 310 Hz；Y: 250 Hz；Z: 230 Hz
11. 共振頻率，0.5 kg 負載 (± 20%)	X: 110 Hz；Y: 115 Hz；Z: 170 Hz	X: 100 Hz；Y: 105 Hz；Z: 155 Hz	X: 75 Hz；Y: 80 Hz；Z: 110 Hz
12. 最大負載	500 g	500 g	500 g
13. 位置傳感器類型	電容式位置傳感	電容式位置傳感	電容式位置傳感
14. 線纜 & 接頭	默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA	默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA	默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA
16. 控制器規格	MC-Archimedes.N 系列	MC-Archimedes.N 系列	MC-Archimedes.N 系列

XYZ掃描臺 — S100.XYZ.P

產品特色

· 壓電陶瓷堆疊驅動

· 直接位置檢測

· 無摩擦柔順結構導向

· 亞納米級位置分辨率

· 內置電容傳感器，閉環控制

· 超小型并聯多軸結構

產品圖片&尺寸

產品參數

產品參數	對應參數值
1. 可選版本	.NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本
2. 外形尺寸	40 × 40 × 40 mm
3. 運動方向 & 行程 (閉環)	100 μm
4. 主體材料	標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 200 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 190 g
5. 線性誤差度	0.02%
6. 重復定位精度	6 nm
7. 運動分辨率 (閉環)	1 nm
8. 運動分辨率 (開環)	0.5 nm
9. 剛性	0.6 N/μm
10. 共振頻率，0 負載 (± 20%)	XYZ: 750 Hz
11. 共振頻率，0.2 kg 負載 (± 20%)	XYZ: 230 Hz
12. 最大負載	200 g
13. 位置傳感器類型	電容式位置傳感
14. 線纜 & 接頭	默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA
15. 控制器規格	MC-Archimedes.N 系列

高速單軸掃描運動 — SD15/30.X.C
產品特色

· 壓電陶瓷堆疊驅動

· 直接位置檢測

· 無摩擦柔順結構導向

· 亞納米級位置分辨率

· 內置電容傳感器，閉環控制

· 高動態毫秒級響應速度

產品圖片&尺寸

產品參數

產品參數	SD15.X	SD30.X
1. 可選版本	.NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本	.NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本
2. 外形尺寸	62 × 40 × 13.5 mm	80 × 40 × 13.5 mm
3. 運動方向 & 行程 (閉環)	15 μm	30 μm
4. 主體材料	標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 180 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 160 g	標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 250 g；.NM 鋁合金，鈦合金: 220 g
5. 線性誤差度	0.03%	0.03%
6. 重復定位精度	2 nm	4 nm
7. 運動分辨率 (閉環)	0.2 nm	0.5 nm
8. 運動分辨率 (開環)	0.1 nm	0.2 nm
9. 剛性	28 N/μm	18 N/μm
10. 共振頻率，0 負載 (± 20%)	3.3 KHz	2.2 KHz
11. 共振頻率，0.3 kg 負載 (± 20%)	1 KHz	0.625 KHz
12. 最大負載	300 g	300 g
13. 位置傳感器類型	電容式位置傳感	電容式位置傳感
14. 線纜 & 接頭	默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA	默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA
15. 控制器規格	MC-Archimedes.N 系列	MC-Archimedes.N 系列

三軸掃描運動 — SH30.XYZ.C
產品特色

· 壓電陶瓷堆疊驅動

· 高負載能力

· 無摩擦柔順結構導向

· 亞納米級位置分辨率

· 內置電容傳感器，閉環控制

· 直接位置檢測

產品圖片&尺寸

產品參數

產品參數	對應參數值
1. 可選版本	.NM, 絕對無磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本
3. 外形尺寸	160 × 160 × 34.5 mm
4. 運動方向 & 行程 (閉環)	30 × 30 × 15 μm
5. 主體材料	標準版，.HV, .UHV 鋁合金，鋼: 4.5 kg；.NM 鋁合金，鈦合金: 4.2 kg
6. 線性誤差度	0.03%
7. 重復定位精度	4 nm
8. 運動分辨率 (閉環)	0.3 nm
9. 運動分辨率 (開環)	0.2 nm
10. 剛性	25 N/μm
11. 共振頻率，0 負載 (± 20%)	X: 760 Hz；Y: 760 Hz；Z: 830 Hz
12. 共振頻率，10 kg 負載 (± 20%)	X: 220 Hz；Y: 220 Hz；Z: 340 Hz
13. 最大負載	10 kg
14. 位置傳感器類型	電容式位置傳感
15. 線纜 & 接頭	默認：屏蔽線纜，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜，SMA
16. 控制器規格	MC-Archimedes.N 系列