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產品簡介
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“Speed系列"高速壓電位移臺——LS50x.Speed
產品特色
· 靜*運動
· 高運動速度
· 閉環運動控制
· 納米級分辨率
產品圖片&尺寸
產品參數
1 | 可選版本 | .NM，絕**磁版本； .HV，高真空版本； .UHV，超高真空版本； |
2 | 外形尺寸 | 50 × 50 × 14 mm |
3 | 主體材料 | 標準版 鋁合金，鋼：120 g；.HV/.UHV：鈦，鋼：150 g；.NM 鈦，陶瓷：130 g |
4 | 運動行程 | 24 mm |
5 | 速度范圍 | 默認：5 mm/s ~ 200 mm/s ；.HV & .UHV 版本：5 mm/s ~ 20 mm/s |
6 | 驅動力 | 2 N |
7 | 保持力 | 3 N |
8 | 水平方向使用*大負載 | 2 kg |
9 | 豎直方向使用*大負載 | 100 g |
10 | 雙向重復定位精度 | ± 250 nm |
11 | 全行程俯仰/偏擺 | 0.3 mrad |
12 | 最小步伐(開環) | 50 nm |
13 | 位置傳感器類型 | 光學位置傳感器 |
14 | 位置傳感器分辨率 | 2 nm |
15 | 線纜 & 接頭 | 默認：屏蔽線纜D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包線，D-Sub15 (PEEK) |
16 | 控制器規格 | MC-Doppler系列 |
“Speed系列"線性位移臺——LS65x.Speed
產品特色
· 靜*運動
· 高運動速度
· 閉環運動控制
· 納米級分辨率
產品圖片&尺寸
產品參數
1 | 可選版本 | .NM，絕**磁版本； .HV，高真空版本； .UHV，超高真空版本； |
2 | 外形尺寸 | 65 × 65 × 15 mm |
3 | 主體材料 | 標準版 鋁合金，鋼：200 g；.HV/.UHV：鈦，鋼：270 g；.NM 鈦，陶瓷：240 g |
4 | 運動行程 | 30 mm |
5 | 速度范圍 | 默認：5 mm/s ~ 200 mm/s ；.HV & .UHV 版本：5 mm/s ~ 20 mm/s |
6 | 驅動力 | 3 N |
7 | 保持力 | 4 N |
8 | 水平方向使用*大負載 | 3 kg |
9 | 豎直方向使用*大負載 | 150 g |
10 | 雙向重復定位精度 | ± 250 nm |
11 | 全行程俯仰/偏擺 | 0.3 mrad |
12 | 最小步伐(開環) | 50 nm |
13 | 位置傳感器類型 | 光學位置傳感器 |
14 | 位置傳感器分辨率 | 2 nm |
15 | 線纜 & 接頭 | 默認：屏蔽線纜D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包線，D-Sub15 (PEEK) |
16 | 控制器規格 | MC-Doppler系列 |
“Speed系列"線性位移臺——LS105x.Speed
產品特色
· 靜*運動
· 高運動速度
· 閉環運動控制
· 納米級分辨率
產品圖片&尺寸
產品參數
1 | 可選版本 | .NM，絕**磁版本； .HV，高真空版本； .UHV，超高真空版本； |
2 | 外形尺寸 | 105 × 105 × 20 mm |
3 | 主體材料 | 標準版 鋁合金，鋼：660 g；.HV/.UHV：鈦，鋼：960 g；.NM 鈦，陶瓷：910 g |
4 | 運動行程 | 60 mm |
5 | 速度范圍 | 默認：5 mm/s ~ 200 mm/s ；.HV & .UHV 版本：5 mm/s ~ 20 mm/s |
6 | 驅動力 | 4 N |
7 | 保持力 | 5 N |
8 | 水平方向使用*大負載 | 5 kg |
10 | 雙向重復定位精度 | ± 250 nm |
11 | 全行程俯仰/偏擺 | 0.2 mrad |
12 | 最小步伐(開環) | 50 nm |
13 | 位置傳感器類型 | 光學位置傳感器 |
14 | 位置傳感器分辨率 | 2 nm |
15
| 線纜 & 接頭 | 默認：屏蔽線纜D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包線，D-Sub15 (PEEK) |
16 | 控制器規格 | MC-Doppler系列 |
“Speed系列"旋轉位移臺 — RS65.Speed
產品特色
· 高扭矩
· 高轉速
· 閉環控制，內置光柵位置傳感器
· 空間緊湊
產品圖片&尺寸
產品參數
1 | 可選版本 | .NM，絕**磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本 |
2 | 外形尺寸 | 65 × 65 × 25 mm |
3 | 主體材料 | 標準版 /.NM 鋁合金：330 g；.HV/.UHV 鈦合金：360 g |
4 | 運動行程 | 360° |
5 | 速度范圍 | 默認：60 °/s ~ 720 °/s；.HV & .UHV 版本：推薦使用 60 °/s |
6 | *大負載 | 2 kg |
7 | 額定力矩 | 0.5 N·m |
8 | *大力矩 | 0.8 N·m |
9 | 保持力矩 | 0.8 N·m |
10 | 最小步伐 | 15 μrad |
11 | 位置傳感器類型 | 光學位置傳感器 |
12 | 位置傳感器分辨率 | 1 μrad |
13 | 線纜 & 接頭 | 默認：屏蔽線纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK) |
14 | 控制器規格 | MC–Doppler 系列 |
“Speed系列"旋轉位移臺 — RS105.Speed
產品特色
· 高扭矩
· 高轉速
· 閉環控制，內置光柵位置傳感器
產品圖片&尺寸
產品參數
1 | 可選版本 | .NM，絕**磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本 |
2 | 外形尺寸 | 105 × 135 × 23 mm |
3 | 主體材料 | 標準版 /.NM 鋁合金：800 g；.HV/.UHV 鈦合金：1 kg |
4 | 運動行程 | 360° |
5 | 速度范圍 | 默認：1.3 °/s ~ 360 °/s；.HV & .UHV 版本：推薦使用 36 °/s |
6 | *大負載 | 5 kg |
7 | 額定力矩 | 0.4 N·m |
8 | *大力矩 | 0.6 N·m |
9 | 保持力矩 | 0.6 N·m |
10 | 最小步伐 | 0.75 μrad |
11 | 位置傳感器類型 | 光學位置傳感器 |
12 | 位置傳感器分辨率 | 1 μrad |
13 | 線纜 & 接頭 | 默認：屏蔽線纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK) |
14 | 控制器規格 | MC–Doppler 系列 |
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